정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서

Year of publication

2021

Inventor

이병철, 최리노, 이활

Application No.

CN 202010078743.6

Application date

2020.02.03

Registration No.

CN ZL202010078743.6

Registration date

2021.10.22

Agency

한국과학기술연구원, 인하대학교 산학협력단, 서울대학교병원