정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서

Year of publication

2020

Inventor

이병철, 최리노, 이활

Application No.

10-2019-0011480

Application date

2019.01.29

Registration No.

10-2196437

Registration date

2020.12.22

Agency

한국과학기술연구원, 인하대학교 산학협력단, 서울대학교병원