정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 그 제조방법

Year of publication

2020

Inventor

이병철, 강동현, 박진수, 김태송

Application No.

10-2019-0031852

Application date

2019.03.20

Registration No.

10-2182063

Registration date

2020.11.17

Agency

한국과학기술연구원