정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 그 제조방법

Year of publication

2024

Inventor

이병철, 강동현, 박진수, 김태송

Application No.

US 16/822018

Application date

2020.03.18

Registration No.

US 11944998

Registration date

2024.04.02

Agency

한국과학기술연구원